Yüksek saflıkta gaz boru teknolojisi, gerekli yüksek saflıklı gazı kullanım noktasına sunmak ve yine de nitelikli kaliteyi korumak için temel teknoloji olan yüksek saflıkta gaz tedarik sisteminin önemli bir parçasıdır; Yüksek saflıkta gaz boru teknolojisi, sistemin doğru tasarımını, bağlantı parçaları ve aksesuarlarının seçimini, inşaat ve kurulum ve testleri içerir. Son yıllarda, büyük ölçekli entegre devreler tarafından temsil edilen mikroelektronik ürünlerin üretiminde yüksek saflıkta gazların saflığı ve safsızlık içeriği üzerine giderek daha katı gereksinimler, yüksek saflıkta gazların boru teknolojisini giderek daha fazla endişelendirdi ve vurgulamıştır. Aşağıda, malzeme seçiminden yüksek saflıkta gaz borularına kısa bir genel bakışof İnşaat, kabul ve günlük yönetim.
Ortak gaz türleri
Elektronik endüstrisinde ortak gazların sınıflandırılması：
Ortak gazlar（Toplu gazı）: hidrojen (H2), azot (n2), oksijen (O2), argon (a2), vesaire.
Özel Gazlarsih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,Sif4 ,CLF3 ,Ortak,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… vesaire.
Özel gaz türleri genellikle aşındırıcı olarak sınıflandırılabilirgaz, zehirligaz, yanıcıgaz, yanıcıgaz, inertgaz, vb. Yaygın olarak kullanılan yarı iletken gazlar genellikle aşağıdaki gibi sınıflandırılır.
(i) aşındırıcı / toksikgaz: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3…vesaire.
(ii) Parıltıgaz: H2, Ch4, Sih4, Ph3Ash3, sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Ch3F, CO… vb.
(iii) Yemilebilirlikgaz: O2, Cl2, N2O, nf3… vesaire.
(iv) inertgaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, Co2, Ne, kr, o… vb.
Birçok yarı iletken gaz insan vücudu için zararlıdır. Özellikle, SIH gibi bu gazlardan bazıları4 Bir sızıntı havadaki oksijenle şiddetli tepki vereceği ve yanmaya başlayacağı sürece spontan yanma; Ve kül3Oldukça toksik, herhangi bir hafif sızıntı insan yaşamı riskine neden olabilir, bu bu belirgin tehlikelerden kaynaklanmaktadır, bu nedenle sistem tasarımının güvenliği için gereksinimler özellikle yüksektir.
Gazların uygulama kapsamı
Modern endüstrinin önemli bir temel hammaddesi olarak, gaz ürünleri yaygın olarak kullanılmaktadır ve metalurji, çelik, petrol, kimya endüstrisi, makine, elektronik, cam, seramik, yapı malzemeleri, yapı, gıda işleme, ilaç ve tıbbi sektörlerde çok sayıda yaygın gaz veya özel gaz kullanılmaktadır. Gaz uygulanmasının özellikle bu alanların yüksek teknolojisi üzerinde önemli bir etkisi vardır ve vazgeçilmez hammadde gazı veya proses gazıdır. Sadece çeşitli yeni endüstriyel sektörlerin ve modern bilim ve teknolojilerin ihtiyaçları ve tanıtımı ile gaz endüstrisi ürünleri, çeşitlilik, kalite ve miktar açısından LEAP'ler ve sınırlar tarafından geliştirilebilir.
Mikroelektronik ve yarı iletken endüstrisinde gaz uygulaması
Gaz kullanımı, yarı iletken sürecinde her zaman önemli bir rol oynamıştır, özellikle de yarı iletken süreci, geleneksel ULSI, TFT-LCD'den mevcut mikro-elektro-mekanik (MEMS) endüstrisine, hepsi de ürünlerin üretim süreci olarak adlandırılan süreçleri kullanan çeşitli endüstrilerde yaygın olarak kullanılmıştır. Gazın saflığının bileşenlerin ve ürün verimlerinin performansı üzerinde belirleyici bir etkisi vardır ve gaz arzının güvenliği personelin sağlığı ve tesis operasyonlarının güvenliği ile ilişkilidir.
Yüksek saflıkta gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boruların önemi
Paslanmaz çelik erime ve malzeme yapma işleminde, ton başına yaklaşık 200g gaz emilebilir. Paslanmaz çeliğin işlenmesinden sonra, sadece çeşitli kirleticilerle yapışkan yüzeyini değil, aynı zamanda metal kafesinde de belirli miktarda gazı emdi. Boru hattında hava akışı olduğunda, metal gazın bu kısmı hava akışına tekrar girerek saf gazı kirleterek emer. Tüp içindeki hava akışı süreksiz akış olduğunda, tüp gazı basınç altında adsorbe eder ve hava akışı geçmeyi durdurduğunda, tüp tarafından adsorbe edilen gaz çözmek için bir basınç düşüşü oluşturur ve çözülmüş gaz da kirlilik olarak borudaki saf gaza girer. Aynı zamanda, adsorpsiyon ve çözünürlük tekrarlanır, böylece tüpün iç yüzeyindeki metal de belirli bir miktar toz üretir ve bu metal toz partikülleri de tüp içindeki saf gazı kirletir. Tüpün bu özelliği, tüpün iç yüzeyinin sadece çok yüksek bir pürüzsüzlüğünü değil, aynı zamanda yüksek bir aşınma direncini gerektiren taşınan gazın saflığını sağlamak için gereklidir.
Güçlü aşındırıcı performansa sahip gaz kullanıldığında, borular için korozyona dayanıklı paslanmaz çelik borular kullanılmalıdır. Aksi takdirde, boru korozyon nedeniyle iç yüzeyde korozyon lekeleri üretecek ve ciddi durumlarda, dağıtılacak saf gazı kirletecek geniş bir metal sıyırma veya hatta perforasyon alanı olacaktır.
Yüksek saflık ve yüksek temizlik gaz iletimi ve büyük akış hızlarında dağıtım boru hatlarının bağlantısı.
Prensip olarak, hepsi kaynak yapılır ve kullanılan tüplerin kaynak uygulandığında organizasyonda hiçbir değişikliğe sahip olmaması gerekir. Çok yüksek bir karbon içeriğine sahip malzemeler, kaynak yaparken kaynaklı parçaların hava geçirgenliğine tabidir, bu da borunun içindeki ve dışındaki gazların karşılıklı penetrasyonunu yapar ve bulaşan gazın saflığını, kuruluğunu ve temizliğini yok ederek tüm çabalarımızın kaybına yol açar.
Özetle, yüksek saflıkta gaz ve özel gaz iletim boru hattı için, yüksek saflıkta boru hattı sistemi (borular, bağlantı parçaları, valfler, VMB, VMP dahil) yüksek saflıkta gaz dağıtımında özel bir muamele kullanmak gerekir.
İletim ve dağıtım boru hatları için genel temiz teknoloji kavramı
Borularla son derece saf ve temiz gaz gövdesi iletimi, taşınacak gazın üç yönü için belirli gereksinimler veya kontroller olduğu anlamına gelir.
Gaz Saflığı: GGA'larda safsızlık atmosferinin içeriği: Gazdaki safsızlık atmosferinin içeriği, genellikle%99.9999 gibi gaz saflığı yüzdesi olarak ifade edilir, ayrıca safsızlık atmosferi içeriği ppm, ppb, s.
Kuruluk: Gazdaki eser nem miktarı veya genellikle atmosferik basınç çiy noktası -70 gibi çiy noktası açısından ifade edilen ıslaklık denilen miktar. C.
Temizlik: Gazda bulunan kirletici partiküllerin sayısı, µm partikül büyüklüğü, sıkıştırılmış hava için kaç parçacık/m3 eksprese edileceği, genellikle yağ içeriğini kapsayan kaç mg/m3 kaçınılmaz katı kalıntılar açısından ifade edilir.
Kirletici Boyut Sınıflandırması: Kirletici parçacıkları, esas olarak boru hattı ovma, aşınma, metal parçacıkları, atmosferik kurum parçacıkları tarafından üretilen korozyonun yanı sıra mikroorganizmalar, fajlar ve nem içeren gaz yoğuşma damlacıkları vb.
A) Büyük Parçacıklar - 5μm'nin üzerindeki parçacık boyutu
b) Parçacık-0.1μm-5μm arasındaki malzeme çapı
c) Ultra mikro parçacıklar-partikül boyutu 0.1μm'den az.
Bu teknolojinin uygulanmasını geliştirmek için, parçacık boyutu ve μm birimleri hakkında algısal anlayış yapabilmek için referans için bir dizi belirli parçacık durumu sağlanır.
Aşağıdakiler, belirli parçacıkların bir karşılaştırmasıdır
| Adı /Parçacık Boyutu (µm) | Adı /Parçacık Boyutu (µm) | İsim/ parçacık boyutu (µm) |
| Virüs 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolize Mikro Çizgi 1-12 |
| Nükleer Yakıt 0.01-0.1 | Boya 0.1-6 | Uçucu kül 1-200 |
| Karbon Siyah 0.01-0.3 | Süt tozu 0.1-10 | Pestisit 5-10 |
| Reçine 0.01-1 | Bakteriler 0.3-30 | Çimento Tozu 5-100 |
| Sigara Dumanı 0.01-1 | Kum tozu 0.5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pestisit 0.5-10 | İnsan saçı 50-120 |
| Kristalize tuz 0.03-0.5 | Konsantre kükürt tozu 1-11 | Deniz Kum 100-1200 |
Gönderme Zamanı: Haziran-14-2022