Yüksek saflıkta gaz borulama teknolojisi, gerekli yüksek saflıkta gazı kullanım noktasına ulaştırmak ve yine de kalifiye kaliteyi korumak için kilit teknoloji olan yüksek saflıkta gaz besleme sisteminin önemli bir parçasıdır;Yüksek saflıkta gaz borulama teknolojisi, sistemin doğru tasarımını, bağlantı parçalarının ve aksesuarların seçimini, yapımını ve kurulumunu ve test edilmesini içerir.Son yıllarda, büyük ölçekli entegre devreler tarafından temsil edilen mikroelektronik ürünlerin üretiminde yüksek saflıkta gazların saflığı ve safsızlık içeriğine ilişkin giderek artan katı gereksinimler, yüksek saflıkta gazların boru teknolojisine giderek daha fazla ilgi gösterilmesini ve vurgulanmasını sağlamıştır.Aşağıda, malzeme seçiminden yüksek saflıkta gaz borularına kısa bir genel bakış verilmektedir.of inşaatın yanı sıra kabul ve günlük yönetim.
Yaygın gaz türleri
Elektronik endüstrisinde yaygın olarak kullanılan gazların sınıflandırılması：
Ortak gazlar（Dökme gaz): hidrojen (H2), nitrojen (N2), oksijen (O2), argon (A2), vb.
Özel gazlarSiH'dir4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… vb.
Özel gaz türleri genel olarak aşındırıcı olarak sınıflandırılabilir.gaz, zehirligaz, yanıcıgaz, yanıcıgazatılgaz, vb. Yaygın olarak kullanılan yarı iletken gazlar genel olarak aşağıdaki gibi sınıflandırılır.
(i) Aşındırıcı / zehirligaz: HCI , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCI3…vb.
(ii) Yanıcılıkgaz: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… vb.
(iii) tutuşabilirlikgaz: Ö2, Cl2, N2O, NF3… vb.
(iv) atılgaz: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…vb.
Birçok yarı iletken gaz insan vücuduna zararlıdır.Özellikle SiH gibi bu gazlardan bazıları4 kendiliğinden yanma, bir sızıntı havadaki oksijenle şiddetli reaksiyona girip yanmaya başladığı sürece;ve Ash3son derece zehirlidir, herhangi bir hafif sızıntı insan hayatı riskine neden olabilir, bunun nedeni bu bariz tehlikelerdir, bu nedenle sistem tasarımının güvenlik gereksinimleri özellikle yüksektir.
Gazların uygulama kapsamı
Modern endüstrinin önemli bir temel hammaddesi olan gaz ürünleri yaygın olarak kullanılmakta ve metalurji, çelik, petrol, kimya sanayi, makine, elektronik, cam, seramik, inşaat malzemeleri, inşaat sektörlerinde çok sayıda ortak gaz veya özel gaz kullanılmaktadır. , gıda işleme, ilaç ve medikal sektörler.Özellikle bu alanların yüksek teknolojisinde gaz uygulaması önemli bir etkiye sahiptir ve vazgeçilmez hammaddesi gaz veya proses gazıdır.Sadece çeşitli yeni endüstriyel sektörlerin ve modern bilim ve teknolojinin ihtiyaçları ve teşviki ile gaz endüstrisi ürünleri çeşitlilik, kalite ve miktar açısından büyük bir hızla geliştirilebilir.
Mikroelektronik ve yarı iletken endüstrisinde gaz uygulaması
Gaz kullanımı, yarı iletken proseste her zaman önemli bir rol oynamıştır, özellikle yarı iletken proses, geleneksel ULSI, TFT-LCD'den mevcut mikro-elektro-mekanik (MEMS) endüstrisine kadar çeşitli endüstrilerde yaygın olarak kullanılmaktadır. ürünlerin üretim süreci olarak sözde yarı iletken süreci kullanan.Gazın saflığının, bileşenlerin performansı ve ürün verimi üzerinde belirleyici bir etkisi vardır ve gaz arzının güvenliği, personelin sağlığı ve tesis operasyonlarının güvenliği ile ilgilidir.
Yüksek saflıkta gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boru tesisatının önemi
Paslanmaz çelik eritme ve malzeme yapma sürecinde ton başına yaklaşık 200 g gaz emilebilir.Paslanmaz çeliğin işlenmesinden sonra, yalnızca yüzeyi çeşitli kirleticilerle yapışkan olmakla kalmaz, aynı zamanda metal kafesi de belirli bir miktarda gazı emer.Boru hattından hava akışı olduğunda, metal gazın bu kısmını emer ve saf gazı kirleterek hava akışına tekrar girer.Tüpteki hava akışı kesintili akış olduğunda, tüp basınç altındaki gazı adsorbe eder ve hava akışı durduğunda, tüp tarafından adsorbe edilen gaz çözünmek için bir basınç düşüşü oluşturur ve çözünen gaz da tüpteki saf gaza girer. safsızlıklar olarak.Aynı zamanda adsorpsiyon ve çözünürlük tekrarlanır, böylece tüpün iç yüzeyindeki metal de belirli bir miktarda toz üretir ve bu metal tozu parçacıkları da tüpün içindeki saf gazı kirletir.Tüpün bu özelliği, yalnızca tüpün iç yüzeyinin çok yüksek bir pürüzsüzlüğünü değil, aynı zamanda yüksek bir aşınma direncini de gerektiren, taşınan gazın saflığını sağlamak için gereklidir.
Güçlü korozif performansa sahip gaz kullanıldığında, boru tesisatı için korozyona dayanıklı paslanmaz çelik borular kullanılmalıdır.Aksi takdirde, korozyon nedeniyle boru iç yüzeyinde korozyon lekeleri oluşturacak ve ciddi durumlarda, dağıtılacak saf gazı kirletecek geniş bir metal sıyırma alanı ve hatta delinme olacaktır.
Yüksek saflıkta ve yüksek temizlikte gaz iletim ve büyük akış oranlarına sahip dağıtım boru hatlarının bağlantısı.
Prensip olarak hepsi kaynaklı olup, kullanılan boruların kaynak yapıldığında organizasyonunda herhangi bir değişiklik olmaması gerekmektedir.Çok yüksek karbon içeriğine sahip malzemeler, kaynak sırasında kaynaklı parçaların hava geçirgenliğine maruz kalır, bu da gazların borunun içine ve dışına karşılıklı olarak nüfuz etmesine neden olur ve iletilen gazın saflığını, kuruluğunu ve temizliğini bozarak kayıplara neden olur. tüm çabalarımız.
Özetle, yüksek saflıkta gaz ve özel gaz iletim boru hattı için, yüksek saflıkta boru hattı sistemi (borular, bağlantı parçaları, vanalar, VMB, VMP dahil) yapmak için yüksek saflıkta paslanmaz çelik borudan özel bir işlem kullanılması gerekir. yüksek saflıkta gaz dağıtımı hayati bir görev üstlenir.
İletim ve dağıtım boru hatları için genel temiz teknoloji kavramı
Boru tesisatı ile son derece saf ve temiz gaz gövdesi iletimi, taşınacak gazın üç yönü için belirli gereksinimler veya kontroller olduğu anlamına gelir.
Gaz saflığı: gGas saflığında safsızlık atmosferinin içeriği, genellikle %99,9999 gibi gaz saflığının yüzdesi olarak ifade edilen gazdaki safsızlık atmosferi içeriği, ayrıca safsızlık atmosferi içeriğinin hacim oranı ppm, ppb olarak da ifade edilir. ppt.
Kuruluk: gazdaki iz nem miktarı veya ıslaklık olarak adlandırılan miktar, genellikle atmosferik basınç çiğ noktası -70 gibi çiğ noktası cinsinden ifade edilir.C.
Temizlik: gazda bulunan kirletici partiküllerin sayısı, µm partikül boyutu, basınçlı hava için kaç partikül/M3 ifade edileceği, genellikle yağ içeriğini kaplayan kaç mg/m3 kaçınılmaz katı kalıntı olarak da ifade edilir .
Kirletici boyut sınıflandırması: kirletici parçacıklar, esas olarak, parçacık boyutunun boyutuna göre boru hattı aşınması, aşınma, metal parçacıklar tarafından oluşturulan korozyon, atmosferik kurum parçacıkları ve ayrıca mikroorganizmalar, fajlar ve nem içeren gaz yoğuşma damlacıkları vb. anlamına gelir. bölünmüştür
a) Büyük parçacıklar – 5μm'nin üzerinde parçacık boyutu
b) Parçacık – 0.1μm-5μm arası malzeme çapı
c) Ultra mikro parçacıklar – parçacık boyutu 0,1μm'den küçüktür.
Bu teknolojinin uygulamasını geliştirmek, partikül boyutunu ve μm birimlerini algısal olarak anlayabilmek için, referans olarak bir dizi spesifik partikül durumu sağlanmıştır.
Aşağıda, belirli parçacıkların bir karşılaştırması yer almaktadır.
| Ad / Parçacık boyutu (µm) | Ad / Parçacık boyutu (µm) | İsim/ Parçacık boyutu (µm) |
| Virüs 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolize mikro damlacık 1-12 |
| Nükleer yakıt 0.01-0.1 | Boya 0.1-6 | Uçucu kül 1-200 |
| Karbon siyahı 0.01-0.3 | Süt tozu 0.1-10 | Pestisit 5-10 |
| Reçine 0.01-1 | Bakteri 0.3-30 | Çimento tozu 5-100 |
| Sigara dumanı 0.01-1 | Kum tozu 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Pestisit 0.5-10 | İnsan saçı 50-120 |
| Kristalize tuz 0.03-0.5 | Konsantre kükürt tozu 1-11 | Deniz kumu 100-1200 |
Gönderim zamanı: 14 Haziran 2022