Elektronik uzmanlık gazlarının üretim süreci, sentez, saflaştırma, doldurma, analiz ve test, karıştırma ve oranlama gibi çeşitli işlemleri içerir. Saflık ve safsızlık içeriği için aşağı yönlü yarı iletken üretim gereksinimlerini karşılamak için saflaştırma işlemi çok önemlidir. Yukarı akış sentez gazının veya çiğ gazın bileşimine bağlı olarak, düşük sıcaklık damıtma veya çok aşamalı saflaştırma yapılır.
Yüksek temizlik gereksinimleri
Elektronik özel gazların hazırlama işlemi, kimyasal üretim sürecine ait olan iki yukarı akış sentezi hazırlama ve saflaştırma bloğuna ayrılabilir. Üretim boru hattının büyüklüğü büyüktür ve özel temizlik seviyesi gereksinimi yoktur. Akış aşağı saflaştırıldıktan sonra, ürün gazla doldurulur ve hazırlık için karıştırılır. Üretim boru hattı küçüktür ve temizlik seviyesi gereksinimlerine sahiptir. Yarı iletken üretim sürecinin standart spesifikasyonunu karşılaması gerekir.
Yüksek sızdırmazlık gereksinimleri
Kimyasal aktiviteleri nedeniyle, elektronik uzman gazlar da üretim süreci sisteminin malzemeleri ve sızdırmazlığı üzerinde yüksek talepler koymaktadır. Tıpkı yarı iletken üretiminin gereksinimleri gibi, safsızlıkların veya özel gazların korozyonunun neden olduğu arayüz sızıntısını önler. Sistem ayrıca safsızlıkların tanıtılmasını veya özel gazların korozyonunun neden olduğu arayüz sızıntısını önlemek için de kullanılabilir.
Yüksek kaliteli istikrar gereksinimleri
Elektronik uzmanlık gazlarının kalitesi, saflık ve safsızlık parçacık içeriği gibi bir dizi göstergeyi içerir. Göstergelerdeki herhangi bir değişiklik, aşağı akış yarı iletken üretim sürecinin sonuçlarını etkileyecektir. Bu nedenle, elektronik özel gaz ürün göstergelerinin tutarlılığını sağlamak için, göstergelerin stabilitesini kontrol etmek için hazırlık işlem sistemi de çok önemlidir.
EGP'nin kimyasal aktivitesi ve kalite gereksinimleri nedeniyle, EGP hazırlama için üretim sistemi, özellikle akış aşağı saflaştırma sistemi, yüksek saflıklı malzemelerin gereksinimlerini, yüksek sızdırmazlık, yüksek temizlik ve yüksek kalite tutarlılığını karşılamalı ve tasarlanmış bileşenlerin inşası yarı iletken imalat endüstrisinin standartlarını karşılamalıdır.
Yaygın olarak “yüksek saflık” olarak adlandırdığımız şey teorik olarak, yüksek saflıklı gazlar, yüksek saflıklı kimyasallar, vb. Gibi bir maddenin saflığının tanımıdır. Yüksek saflık maddelerine uygulanan süreç sistemleri veya proses sistemi bileşenleri de yüksek saflık sistemleri ve yüksek saflık valfleri gibi yüksek saflık olarak adlandırılır. Elektronik uzmanlık gaz hazırlama sistemleri, yüksek saflıklı malzemeler ve temiz üretim işlemleri ile işlenen ve kolay temizleme ve temizlik için yapılandırılmış yüksek saflıkta uygulama bağlantı parçaları, valfler ve diğer sıvı bileşenleri, yani bağlantı parçaları ve valfler gerektirir. Yüksek sızdırmazlık performansı ile. Bu sıvı bileşenleri, yarı iletken endüstrisinin mühendislik ve inşaat gereksinimlerini kullanarak uygulamanın işlem akış yolunu karşılamak için tasarlanmıştır.
Yüksek saflıkta boru bağlantıları
VCR Metal Conta Yüz Contası Bağlantıları ve Otomatik Kılavuz Popo Kaynak Bağlantıları, hem bağlantıdaki akış yolunun, durgunluk bölgesinde hem de yüksek sızdırmazlık performansı yok. Deforme edilmiş contanın her çıkarıldığında ve değiştirildiğinde tekrarlanabilir ve tutarlı bağlantı ve sızdırmazlık performansı sağlanır.
Tüpler, otomatik bir yörünge kaynak sistemi kullanılarak kaynak yapılır. Tüp, içte ve dışta yüksek saflıklı gazı ile korunur. Tungsten elektrot yüksek kaliteli kaynak için yörünge boyunca döner. Tam otomatik yörünge kaynakları, diğer malzemeleri tanıtmadan boruyu eritir, ince duvarlı boruyu tekrar tekrar kontrol ederek yüksek kaliteli bir kaynak elde etmek, manuel kaynak ile elde edilmesi zordur.
VCR Metal Conta Yüz Mühür bağlantısı
Boruların Otomatik Orbital Butt Kaynak Bağlantısı
Yüksek saflık valfleri
Yanıcı, patlayıcı, aşındırıcı ve toksik elektronik uzmanlık gazlarının kimyasal aktivitesi, valfin sızdırmazlığı için yüksek talepler getirir. Sızdırmazlık güvenilirliğini artırmak için, harici sızıntıyı önlemek için paketsiz valflerin gereksinimi, yani valf gövdesinin ve valf gövdesinin, metal körük veya metal diyafram kullanılarak conta arasındaki conta arasındaki çalıştırma, aşınma ve paketleme conta deformasyonu nedeniyle sızıntıyı ortadan kaldırmak için. Körükler sızdırmaz ve diyafram silinmiş valfler, contaların daha fazla güvenilirliği ve valf içlerinin daha kolay temizlenmesi ve temizlenmesi nedeniyle yüksek saflıkta uygulamalar için proses sistemlerinde yaygın olarak kullanılır.
Körle sızdırmaz vanalar, yavaş açma ve akış düzenlemesine izin veren paketsiz bir iğne valfi yapısıdır. Güvenlik akışı gereksinimleriyle veya yüksek güvenlik gereksinimlerine sahip öncü kaynak şişelerinde elektronik uzman gaz dolgusu için kullanılır. All-metal kök uçlu contalar son derece düşük çalışma sıcaklıklarına izin verir ve borular için kriyojenik damıtma işleminden sonra bitmiş ürün tanklarında elektronik uzman gazların kriyojenik sıvılaştırılması için kullanılır.
Yaysız diyafram conta vanası, dağıtım borularında otomatik olarak kontrol edilen bir anahtarlama valfi olarak kullanılmak üzere 1/4 ″ Snap-Open valfıdır. Basit iç akış yolları, küçük iç hacimleri ve temizleme ve değiştirme kolaylığı nedeniyle ultra yüksek basınç, yüksek saflık uygulamalarında yaygın olarak kullanılırlar.
Kök ucu ile kapatılan diyaframlı silinmiş valfler yavaşça açılabilir ve daha yüksek çalışma basınçlarında, yayılmayan diyafram kaplı valflerden daha yüksek çalışma basınçlarında kullanılabilir. Yüksek basınçlı elektronik uzman gaz dolgusu veya öncü kaynak şişelerinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
İkincil conta körük valfi sadece -200 derecede ultra düşük sıcaklık işlem sistemlerinde kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda tehlikeli ortamın atmosfere sızmasını önler. Genellikle silan doldurma sistemi gibi çok tehlikeli elektronik özel gazlar için kullanılır.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, yarı iletken, LED, DRAM, TFT-LCD pazarları için endüstriyel ve özel gaz, malzeme, gaz tedarik sistemleri ve gaz mühendisliği tedarikinde 10 yılı aşkın deneyime sahip, ürünlerinizi sektörün ön planına itmek için gerekli malzemeleri sağlayabiliriz. Yarı iletken elektronik uzmanlık gazları için sadece çok çeşitli valf ve bağlantı parçaları sağlamakla kalmıyor, aynı zamanda müşterilerimiz için gaz boruları ve ekipman montajı da tasarlayabiliriz. Bu alanda herhangi bir ihtiyacınız varsa, lütfen 27919860 numaralı telefondan bizimle iletişime geçin.
Gönderme Zamanı: Temmuz 19-2023