Yarı iletken piyasası büyüdükçe, saflık ve doğruluk standartları daha katı hale gelir. Yarı iletken üretiminin kalitesindeki belirleyici faktörlerden biri, işlemde kullanılan gazlardır. Bu gazlar, üretim sürecinde aşağıdakiler dahil olmak üzere birçok rol oynar:
Hassas süreç kontrolü
Kontaminasyonu önleme
Metalurjik mülk geliştirme
Bu rolleri etkili bir şekilde gerçekleştirmek için gaz arzı ve dağıtım sistemi verimli olmalıdır. Yarıiletken üretiminde kullanılan gaz taşıma sistemlerinin tasarımı, yarı iletkenlerin güvenilir ve yüksek kaliteli üretimini sağlamak için sağlam bileşenler ve özelleştirilmiş montajlar tarafından desteklenmelidir.
Yarıiletken üretiminde kullanılan gazlar
Yarı iletken üretim süreci, sürecin farklı aşamalarında farklı gazların kullanılmasını gerektirir.
Azot, hidrojen, argon ve helyum gibi yaygın gazlar saf formlarında kullanılabilirken, bazı işlemler özel karışımlar gerektirebilir. Silanlar veya siloksanlar, heksaflorürler, halidler ve hidrokarbonlar, yarı iletken üretiminde kullanılan özel gazlardan birkaçıdır. Bu gazların birçoğu tehlikeli veya yüksek reaktif olabilir, bu da gaz sistemleri için bileşenlerin seçiminde ve tasarımında zorluklar yaratabilir.
İşte bazı örnekler:
\ Hidrojen ve helyum, küçük atomik boyutları ve ağırlıkları nedeniyle boru ve bağlantı sistemlerinden kolayca sızabilir.
\ Silanes oldukça yanıcıdır ve havada kendiliğinden yanabilir (otoignit).
Biriktirme, dağlama ve oda temizleme aşamalarında kullanılan azot diflorür, çevreye sızdığında güçlü bir sera gazı haline gelir.
\ Hidrojen florür (gravür gazı) metal borular için oldukça aşındırıcıdır.
\ Trimetilgallium ve amonyakların işlenmesi zor olabilir - sıcaklıklarındaki küçük dalgalanmalar ve basınç gereksinimleri birikme işlemini etkileyebilir.
Bu gazların olumsuz etkilerini en aza indirmek için süreç koşullarını kontrol etmek sistem tasarımı sırasında en önemli öncelik olmalıdır. Yapım işlemi sırasında AFK diyafram valfleri gibi en yüksek kaliteli bileşenleri kullanmak da aynı derecede önemlidir.
Sistem tasarım zorluklarını ele almak
Yarı iletken sınıfı gazlar çoğu yüksek saflıktadır ve inert koşullar sağlar veya üretim sürecinin etsh ve biriktirme gazları gibi farklı aşamalarında reaksiyonları arttırır. Bu tür gazların sızıntısı veya kontaminasyonu olumsuz etkilere sahip olabilir. Bu nedenle, kontaminasyon olasılığı olmamasını ve son derece yüksek bir temizlik seviyesinin korunabilmesini sağlamak için eskiden hermetik olarak kapatılmış ve korozyona dayanıklı ve düzgün bir yüzey kaplamasına (elektrolitik parlatma) sahip olduğu için kritiktir.
Ek olarak, bu gazların bazıları istenen işlem koşullarını elde etmek için ısıtılabilir veya soğutulabilir. İyi yalıtılmış bileşenler, nihai ürünün verimli performansı için kritik olan sıcaklık kontrolünü sağlar.
Kaynak girişinden kullanım noktasına kadar, AFK'nın geniş bileşenleri yarı iletken temiz odalarda ve vakum odalarında gerekli olan ultra yüksek saflığı, sıcaklık, basınç ve akış kontrolünü destekler.
Yarıiletken Fabs'da Kalite Bileşenleri ile Tasarlanmış Sistemler
Kalite bileşenlerinin ve tasarım optimizasyonunun rolü, yarı iletkenlerin kesin kontrol ve güvenli üretimi için kritik öneme sahiptir. Kullanılan bileşenlerin, üretimin farklı aşamalarında gerekli olan değişen işlem koşullarına uyacak şekilde sağlam ve sızdırmaz olması gerekir.
Ultra yüksek saflık
Sızdırmaz mühürler
Sıcaklık kontrollü yalıtım
Basınç kontrolü
Korozyon direnci
Elektrolitik parlatma tedavisi
Gönderme Zamanı: Ekim-09-2023