Yarı iletken endüstrisinde gaz kullanımı 1950'lerin başlarına kadar 1950'lerin başlarına dayanmaktadır. Yarı iletken üretim işlemi sırasında, gazlar esas olarak saflık ve kalitelerini sağlamak için yarı iletken malzemeleri temizlemek ve korumak için kullanılır. En sık kullanılan gazlar arasında azot ve hidrojen vardır.
Yarı iletken teknolojisi geliştikçe ve üretim süreçleri iyileşmeye devam ettikçe, gazlara olan talep arttı. 1970 yılında, yarı iletken üretim teknolojisinin daha da geliştirilmesi, kazınma ve ince filmlerin birikmesi gibi anahtar işlemlerde gazların uygulanması kademeli olarak arttı ve florür gazları (örn. SF6) ve oksijen yaygın olarak kullanılan dağlama ve biriktirme gazları haline geldi. 1980, entegre devrelerin geliştirilmesi ve bunlara olan talep artışı ile gazlara olan talebin daha da arttığını gördü. Hidrojen, hidrojen tavlama ve hidrojen buharı birikimi dahil olmak üzere üretim işleminde yaygın olarak kullanılmıştır. Ve 1990'dan günümüze, yarı iletken cihaz boyutları küçülmeye devam ettikçe ve yeni süreçler getirildikçe yüksek saflıkta gaz ve spesifik gazlara olan talep artmıştır. Örneğin, aşırı ultraviyole litografinin (EUV) uygulanması, azot ve hidrojen gibi aşırı yüksek saflıkta gazların kullanılmasını gerektirir.
Yarı iletken gazı, daha fazla ürün tarafından yönlendirilen ilgili ürünlerin geliştirilmesiyle artmaya devam ediyor, gaz da tehlike kaynağına aittir, bu nedenle gaz dekompresyonu, gaz algılama ürünleri ve gaz kaçak ürünleri için kullanılan ürünler, gaz valfleri, gaz basınç göstergeleri, gaz sızıntısı dedektörü vb.
Basınç regülatörleri: Basınç regülatörleri, gaz basıncını kontrol etmek için kullanılan cihazlardır. Genellikle bir regülatör valfinden ve bir basınç sensöründen oluşurlar. Basınç regülatörleri yüksek basınçlı gaz girişi alır ve belirli uygulama gereksinimlerini karşılayacak şekilde valfi ayarlayarak çıkış gazının basıncını stabilize eder. Basınç düzenleyicileri, gaz arzının istikrarını ve güvenliğini sağlamak için endüstri, imalat ve laboratuvarlar gibi alanlarda ve yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır.
Gaz valfleri: Gaz valfleri gaz akışını kontrol etmek ve gaz pasajlarını kapatmak için kullanılır. Genellikle gaz akışını açan veya kapatan bir açma/kapama işlevine sahiptirler. Manuel valfler, elektrik valfleri ve pnömatik valfler dahil olmak üzere çeşitli gaz valfleri vardır. Gaz sistemlerinde gazların akışını, basıncını ve akış hızını kontrol etmek için yaygın olarak kullanılırlar.
Gaz basıncı göstergeleri: Bir gazın basınç seviyesini ölçmek için gaz basıncı göstergeleri kullanılır. Genellikle basınç değişikliklerini izlemek ve güvenli sınırlar içinde olduklarından emin olmak için gaz sistemlerindeki kritik yerlere kurulurlar. Gaz basıncı göstergeleri endüstri, imalat ve laboratuvarlarda yaygın olarak kullanılmaktadır ve yarı iletken endüstrisi de dahil olmuştur.
Gaz sızıntı dedektörleri: Gaz sızıntısı dedektörleri, gaz sistemlerindeki sızıntıları tespit etmek için kullanılır. Tespit ediyorlarGaz sızıntılarının varlığı ve sızıntı kazalarını önlemek için zamanında harekete geçebilmesi için bir alarm çalması. Gaz sızıntı dedektörleri endüstriyel, kimyasal, petrol ve gaz uygulamalarında yaygın olarak kullanılmaktadır ve yarı iletken endüstrisi de dahil olmuştur.
Gönderme Zamanı: Şub-20-2024