Yarı iletken üretiminde kullanılan farklı kimyasallar ve gazlar, üretimin her aşamasında kesintisiz tedarik için sağlam sıvı sistemleri gerektirir. Bu sıvı sistemleri, temiz, sızdırmaz ve kontrollü bir işlem sağlarken, yarı iletken üretimi için gereken aşırı işlem koşullarını destekleyebilmelidir. Bu nedenle, sıvı sistemi bileşenlerinin seçimi, hassas yarı iletken üretim işleminde kritiktir.
Yüksek kaliteli sıvı sistemi bileşenlerinin seçilmesi, artan üretim verimliliği ve azaltılmış sistem kesinti ile eş anlamlıdır. Yarı iletken üretim süreci ile ilgili olarak, sıvı sistemi bileşenlerinin kritik rolünü ve güvenilirliklerinin önemini tartışacağız.
Yarıiletken üretiminde sıvı sistemi bileşenlerinin önemi
Yarı iletken üretimdeki sıvı sistemi bileşenleri, kimyasal sıvıları kontrollü bir ortamda güvenli bir şekilde taşımak için farklı kimyasal karıştırma, taşıma ve kontrol sistemlerini içerir. İdeal bir sıvı sistemine sahiptir:
➢ Tek tip kimyasal karıştırma
➢ Kontaminasyon kontrolü
➢ Sıcaklık ve basınç kontrolü
➢ Mutlaksız kimyasal tedarik
Yarı iletken sıvı sisteminde bu tür ideal koşullar sağlayabilir. Bu tür bileşenleri kullanmanın avantajları şunları içerir:
Doğru: Vanalar, düzenleyiciler ve pompalar gibi bileşenler, doğru kimyasal oranının üretim hücresine verilmesini sağlamak için birlikte çalışır. Kesin girişler, nihai ürünün kalitesini artıran akış varyasyon riskini ortadan kaldırır.
Uyumluluk ve temizlik: Proses sıvılarıyla uyumlu malzeme bileşimlerine sahip sıvı sistemi bileşenleri kontaminasyon riskini azaltır. Ek olarak, bu sıvı sistem bileşenlerinin sızıntısız kurulumu, partikül kirletici maddeleri azaltır ve gelişmiş verimler için temiz ve kontrollü bir üretim ortamı sağlar.
Güvenlik: Yarı iletken üretiminde kullanılan gazlar ve kimyasallar insan sağlığına zararlı olabilir. Bununla birlikte, sızıntıları ve dökülmeleri önlemek için tasarlanmış sıvı sistemi bileşenleri, bu sıvıları üretim birimlerine güvenli ve kontrollü bir şekilde iletebilir.
Verimlilik: Yüksek kaliteli sıvı sistemi bileşenlerinin sızıntısız yapısı ve hassas kontrolü, operasyonel kesinti sürelerini ve sık bakım gereksinimlerini en aza indirerek üretim hedeflerini karşılamak için pürüzsüz, verimli üretimi teşvik eder.
Kalite Üretilen Akışkan Sistemi Bileşen Çözümleri
Sıvı sistemi bileşenleri, yarı iletken üretiminin zorluklarını karşılamak için yüksek kaliteli kurulumlar gerektirir. Fab'ı etkileyen temel bileşenler şunları içerir:
Vanalar: Diyafram, körük veya iğne valfleri gibi yüksek performanslı valfler, üretim tesislerindeki sıvı akışını ideal olarak düzenler. Dayanıklı, yüksek kaliteli vanalar, kritik yarı iletken üretimi için üretim ve taşıma süreçlerinin verimliliğini artırmak için gereken hassasiyet ve kontrolü sağlar.
Bağlantı parçaları: Tüp ve hortum sistemleri ve diğer kritik bileşenler için yüksek saflıkta bağlantı parçaları, sıvı sistemi bileşenlerinin güvenliğini ve saflığını artırmak için kapalı bağlantılar sağlar.
Hortumlar: Hassas üretim gereksinimleri için, yalıtılmış hortumlar termal yönetimine yardımcı olur, böylece üretim odasındaki işlem koşullarının en uygun şekilde korunması gerekir. Bu önemlidir, çünkü en ufak sıcaklık dalgalanması yongalara zarar verebilir ve üretim atıklarına yol açabilir.
Esnek boru: koşulların izin verdiği durumlarda, bir sıvı sistemi düzeneğindeki bağlantı parçalarının sayısını azaltmak için esnek boru kullanılabilir. İstenen sıvı yolunu elde etmek için tüp bükülür. Daha az bağlantı parçaları, titreşim ve hareket nedeniyle daha az sızıntı ve hasar riski anlamına gelir.
Düzenleyiciler: Regülatörler yarı iletken üretim sürecinin her aşamasında basıncı etkili bir şekilde kontrol eder. Sabit ve doğru akış, boşa harcanan akışkan kimyasallardan ve özel malzemelerden kaçınırken tutarlı, yüksek kaliteli verimler elde eder.
Filtreler: Tek bir parçacık yarı iletken performansını etkileyebilir. Ultra yüksek saflık filtrelerinin kullanımı, parçacık kontaminasyonunu ortadan kaldırır ve çip hasarını en aza indirir.
Yarı iletken üretimindeki sıvı sistemi verimliliği, AFK-Lok'un geniş kaliteli valfleri, bağlantı parçaları, düzenleyicileri, hortumları ve filtreleri ile elde edilebilir.
Gönderme Zamanı: Ekim-09-2023