Kuyruk gazı arıtma ekipmanı, SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O vb.
Egzoz gazı tedavi yöntemi
Egzoz gazı tedavisinin özelliklerine göre, tedavi dört tip tedaviye ayrılabilir:
1. Su yıkama tipi (aşındırıcı gazların tedavisi)
2. Oksitleyici tip (yanıcı ve toksik gazlarla uğraşıyor)
3. Adsorpsiyon (karşılık gelen egzoz gazı ile başa çıkmak için adsorpsiyon malzemesinin tipine göre).
4.Plasma yanma tipi (her türlü egzoz gazı tedavi edilebilir).
Her tedavi türünün kendi avantajları ve dezavantajları ve uygulama kapsamı vardır. Tedavi yöntemi su yıkama olduğunda, ekipman ucuz ve basittir ve sadece suda çözünür gazları işleyebilir; Elektrikli su yıkama tipinin uygulama aralığı, su yıkama tipinden daha yüksektir, ancak çalışma maliyeti yüksektir; Kuru tip iyi bir tedavi verimliliğine sahiptir ve tıkanması veya akması kolay olan gaz akışı için geçerli değildir.
Kimyasallar ve yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılan yan ürünleri, kimyasal özelliklerine ve farklı aralıklarına göre kategorize edilebilir:
1. SIH4H2, vb. Gibi yanıcı gazlar.
2. Ash3, ph3 vb. Gibi toksik gazlar.
3. HF, HCL, vb. Gibi aşındırıcı gazlar.
4. CF4, NF3, vb. Gibi sera gazları.
Yukarıdaki dört gaz çevreye veya insan vücuduna zararlı olduğundan, atmosfere doğrudan emisyonunu önlemelidir, bu nedenle genel yarı iletken tesisi büyük bir merkezi egzoz gazı arıtma sistemi ile kurulur, ancak bu sistem sadece su ovma egzozudur, bu nedenle uygulaması uzun mesafeli su çözünür gazlarla sınırlıdır ve sürekli değişen ve subul bölünmesi, egzoz gazının sürekli ve subul bölümü ile ilgilenemez. Bu nedenle, egzoz gazı problemini küçük bir şekilde çözmek için her işlemden elde edilen gaz özelliklerine göre karşılık gelen egzoz gazı arıtma ekipmanını seçmek ve eşleştirmek gerekir. Çalışma alanı çoğunlukla merkezi egzoz gazı arıtma sisteminden uzakta olduğundan, genellikle gaz özellikleri nedeniyle boru hattında kristalizasyon veya toz birikimine yol açarak, boru hattının tıkanmasına neden olan gaz sızıntısına yol açar ve ciddi durumlarda bile patlamaya neden olur. Bu nedenle, çalışma alanında, personelin güvenliğini sağlamak için çalışma alanındaki durgun egzoz gazını azaltmak için işlem gazının özelliklerine uygun küçük bir egzoz gazı arıtma ekipmanı yapılandırması gerekir.
Gönderme Zamanı: Ağustos-10-2023