1 | Maks. çalışma basıncı 20,6 Mpa. |
2 | Maks.çalışma sıcaklığı 204 ℃ (454 ℃'ye kadar yüksek sıcaklık ortamı, bu sırada sızdırmazlık malzemesi genişletilmiş grafit ile değiştirilir) |
3 | Filtre sistemi Partikül kirleticiler, gazlar, sıvılar uygulanabilir. |
4 | Paslanmaz çelik toz metalurjisi sinterlenmiş filtre filtre doğruluğu 2μm~40μm |
5 | Filtre akışı 1x 10 -6~1×10-2L/dak.cm2.baba |
6 | Filtre değiştirilebilir. |
Filtrenin ürün özellikleri
1 | Geniş uygulama aralığı, 15 ila 300SL/dak akış aralığı. |
2 | Çoğu yüksek saflıkta yarı iletken proses gazlarıyla iyi bir uyumluluğa sahiptir. |
3 | 3 nanoparçacık filtrasyon kapasitesi, yüksek akış verimliliği ve ultra küçük basınç düşüşü sağlar. |
4 | 5Ra elektro-parlatılmış yüzey iç kirliliği önleyebilir. |
5 | Yarı iletken işlem standartlarını karşılamak için deiyonize sudan sonra sıcak nitrojenle pişirin. |
6 | 1000 seviyeli tozsuz aseptik atölye imalat, temizlik ve paketleme ortamı. |
7 | %100 helyum kaçağı testi yapın. |
Giriş | Çıkış | |
1 | 1/8" boru bağlantısı | 1/8" boru bağlantısı |
2 | 1/4" boru bağlantısı | 1/4" boru bağlantısı |
3 | 3/8" boru bağlantısı | 3/8" boru bağlantısı |
4 | 1/2" boru bağlantısı | 1/2" boru bağlantısı |
5 | 6MM boru bağlantısı | 6MM boru bağlantısı |
6 | 8MM boru bağlantısı | 8MM boru bağlantısı |
7 | 10MM boru bağlantısı | 10MM boru bağlantısı |
8 | 12MM boru bağlantısı | 12MM boru bağlantısı |
9 | 1/8" Dişi NPT | 1/8" Dişi NPT |
10 | 1/4" Dişi NPT | 1/4" Dişi NPT |
11 | 1/4" Erkek NPT | 1/4" Erkek NPT |
12 | 3/8" Erkek NPT | 3/8" Erkek NPT |
13 | 1/2" Erkek NPT | 1/2" Erkek NPT |
Filtre Ürün Performans Parametreleri
1 | Filtreleme Doğruluğu | ≥0.0025μm | |
2 | Filtrasyon verimliliği | Kaldırma oranı99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Nominal akış | 15L/Dk | |
4 | 60L/Dk | ||
5 | 120L/Dk | ||
6 | 200L/Dk | ||
7 | 300L/Dk | ||
8 | Filtre bileşimi | filtre elemanı | 316L/PTFE |
9 | Konut | paslanmaz çelik 316L | |
10 | Çalışma şartları | Maksimum giriş basıncı | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Maksimum fark basıncı | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Maksimum çalışma sıcaklığı | 430°C (inert gaz) | |
13 | helyum kaçağı oranı | 1×10-9 atm.cc/sn | |
14 | Yüzey | ≤Ra 5μin |